金融界 2025 年 1 月 31 日动静，国度学问产权局消息显示，浚辅科技股份无限公司申请一项名为“具震动侦测及影像辨识的机械手臂”的专利，公开号 CN 119381309 A，申请日期为 2023 年 7 月。专利摘要显示，一设于机械手臂上的影像撷取安拆、至多一设于机械手臂上的第一震动传感器、一设于晶圆搬运安拆内的第二震动 传感器、及一设于晶圆搬运安拆一侧的安拆，及一资讯保持第一震动传感器取第二震动传感器的震动检测部。藉上述布局， 使机械手臂兼具晶圆储存形态检测、及寿命预测等 功能，而避免机械布局动做不稳取检测误差的要素彼此影响， 进而提拔挪动及判断精准度。